Сервисное и техническое обслуживание технологического оборудования

Сервисное и техническое обслуживание технологического оборудования в производстве интегральных микросхем

1. Напыление алюминия «орион-3». Установка «магна»
2. Травление нитрида кремния «орион-3». Установка 08пхт-100/10-006
3. Установка c магнетронной системой распыления 01ни-7-15 («магна») напыление алюминия
4. Установка плазмохимического травления 08пхт-100/10-006 напыление алюминия с кремнием
5. Блок регулировки температуры в печи сдо1/3 с мп «термодат»трм13е 1 травление нитрида кремния, кремния на кнс
6. Блок регулировки температуры в печи сдо1/3 с мп «термодат»трм13е осаждение si3n4
7. Блок регулировки температуры в печи сдо1/3 с мп «термодат»трм13е осаждение бфсс
8. Блок регулировки температуры в печи сдо1/3 с мп «термодат»трм13е осаждение фсс
9. Блок регулировки температуры в печи сдо1/3 с мп «термодат»трм13е осаждение si*
10. Установка измерения rs осаждение примеси фосфора
11. Установка измерения cv-т.П.О.,n1 измерение cv-т.П.О.
12. Блок измерения температуры в печах (на основе микропроцессорных «овен-12») все процессы диффузии
13. Установка измерения т.П.О. Измерение тестовых транзисторов
14. Автомат обработки пластин плазма-125и плазмохимическая обработка
15. Модульный источник питания мип-175 совмещение и экспонирование
16. Микро эвм «двк» - диалоговый вычислительный комплекс
17. Установка измерения т.П.О. Измерение тестовых транзисторов
18. Станок резки полупроводниковых материалов с системой очистки сож ю1м1.055.000.Эд
19. Измеритель толщины, клина прогиба пластин 09эр-25-004 щцм3 445 007
20. Эвм «электроника -60», расположена в ком. 5, уфш сектор.2 окб
21. Установка нанесения фоторезиста hbs нанесение фоторезиста
22. Установка проявления фоторезиста hes струйное проявление пластин
23. Автомат обработки пластин плазма-125и плазмохимическая обработка
24. Измерители статических параметров интегральных микросхем под управлением эвм электроника 60, электроника 89, или двк.
25. Техническое обслуживание станков с программным управлением учпу типа:
2с42, 2у22, 2р22